반도체 및 디스플레이 공정의 진공펌프 앞단/뒷단에 마이크로웨이브 플라즈마 장치를 적용하여 공정 부산물을 분해/치환하며,
유해가스도
분해하여 펌프와 스크러버 단의 문제를 해결함.
반도체 및 디스플레이 공정의 진공펌프 앞단 Foreline에 진공 플라즈마 장치를 적용하여 공정 부산물을 분해/치환하며,
유해가스도
분해하여 진공펌프와 Foreline 단의 문제를 해결함.