제품소개

마이크로웨이브 토치

3kW급 마이크로웨이브 플라즈마 시스템 구성 및 방전 사진

장치 특징 및 용도

  • 고분해율 대기압 플라즈마 발생
  • 배관 연결은 NW40을 기본으로 Reducer 적용 가능
  • 통신 연결하여 On/Off 시간 및 출력 제어 가능한 전원공급장치
  • 반도체, 디스플레이의 온실가스 및 유해가스 처리
  • 진공펌프단과 스크러버단에서의 파우더 등 부산물 이슈 해결

주요 스펙

MW
플라즈마
발생기
플라즈마 발생 방식 2.45GHz Microwave (2kW 및 3kW 마그네트론)
동작 압력 범위 대기압 ~ 저압(1 torr)
크기 (mm) 반응기(L230*W140*H300), 시스템전체 길이 970mm
무게 (kg) 반응기 6kg
연결 포트 NW40 배관, NW25 Reducer 가능
제어기 입력 AC 220V (3상)
제어 기능 On/Off 스위치, 시간 제어
전원장치 출력 최대 출력 5kW
입력 전압 AC 220V (3상), 50/60Hz
출력 전압 Max 5.0kV
동작 주파수 DC (단상)